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致力于打造高稳定、高精度、高性价比的国产精密划切设备品牌。

BJX6366 12 寸双轴精密划片机BJX6366双轴全自动划片机

博捷芯 BJX6366 12 寸双轴精密划片机,全自动晶圆划片机,适配 6-12 英寸硅片、蓝宝石、陶瓷、PCB 等硬脆材料,双主轴 CCD 视觉定位,用于 IC 封装、MiniLED、光通讯芯片切割。

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核心优势

 机型实现了晶圆从装片、对准、切割、清洗到卸片的自动化操作。该机型配置了大功率对向式双主轴,Z1和Z2轴上都配置了NCS和专用显微镜,大幅度减少对准和检查时间,从而降低人工成本、提高生产效率。


● 1.8KW(2.4KW可选) 大功率直流主轴

● 高刚性龙门式结构

● T轴旋转轴采用DD马达

● 进口超高精密级滚柱型导轨

● 进口超高精密滚珠型丝杆

● CCD双镜头自动影像系统

● 友好人机交互界面

● 瑞士进口滚柱导轨,精度高,耐用性久,稳定性高,超高直线度,实测0.9μm

● 采用进口研磨级超高精密滚珠丝杠,定位精度可达2μm全行程

● 自动对焦功能,具有CSP切割功能,具有 在线刀痕检测功能

● NCS非接触测高,BBD刀破损检测,自动修磨法兰功能

● 工件形状识别功能,更加友好人机界面

● 自动化程序著提升

● 满足各种加工工艺需求



技术参数


项目

产品型号

BJX6366晶圆划片机


加工尺寸

≤ø305mm/□260mm*260mm/定制

运动方式

双轴对向式、全自动

X轴

最大速度

600mm/s

直线度

1.5μm全行程

Y轴

有效行程

310mm

定位精度

2μm全行程

分辨率

0.1μm

 Z轴

有效行程

40mm

单步步尽量

0.0001mm

最大刀轮直径

60mm或定制

T轴

转动角度范围

380

主轴

最大转速

60000rpm/min

额定输出功率

直流(DC)1.5/1.8/2.4KW

 基础规格

电源

三相AC220V/50Hz

压缩空气

0.5-0.6Mpa、Max420L/min

切削水

0.2-0.3Mpa、Max 12L/min

排风流量

10m³/min

尺寸(mm)

1288X1618X1810

重量

2000kg


适用场景

半导体、IC 封装、QFN 封装、DFN 封装、BGA 封装、MiniLED、LED 芯片、太阳能电池、光通讯、光电光学、电子基片切割、晶圆划切、芯片切割


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