项目 | 产品型号 | BJX3666晶圆划片机 |
加工尺寸 | ≤ø305mm/□390mm×390mm/定制 | |
运动方式 | 双轴对向式、半自动 | |
X轴 | 最大速度 | 600mm/s |
直线度 | 1.5μm全行程 | |
Y轴 | 有效行程 | 310mm |
定位精度 | 1μm全行程 | |
分辨率 | 0.1μm | |
Z轴 | 有效行程 | 40mm |
单步步尽量 | 0.0001mm | |
最大刀轮直径 | 60mm或定制 | |
T轴 | 转动角度范围 | 380 |
主轴 | 最大转速 | 60000rpm/min |
额定输出功率 | 直流(DC)1.5/1.8/2.4KW | |
基础规格 | 电源 | 三相AC220V/50Hz |
压缩空气 | 0.5-0.6Mpa、Max420L/min | |
切削水 | 0.2-0.3Mpa、Max 12L/min | |
排风流量 | 10m³/min | |
尺寸(mm) | 1500mm(W)×1420mm(D)×1810mm(H) | |
重量 | 1500kg |







