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BJX3666P 双轴半自动划片机12 寸半导体晶圆切割机

博捷芯 BJX3666P 双轴半自动划片机,兼容 6‑12 英寸晶圆;双主轴双 CCD 视觉定位,适配硅片、蓝宝石、陶瓷、PCB,用于 QFN、MiniLED、光通讯芯片中小批量划切。

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核心优势

对向式大功率双主轴设计:Z1/Z2 双轴均搭载 NCS 测高与专用显微镜,减少对位、检查耗时,对比单轴设备切割效率大幅提升;可选 1.8KW/2.4KW 直流大功率主轴,最高转速 60000rpm,高速稳定划切硬脆材料。

高刚性龙门本体 + 进口精密传动部件:瑞士滚柱导轨(直线度 0.9μm)、进口研磨滚珠丝杠,T 轴配置 DD 直驱马达,全行程定位精度 1μm,重复精度 1μm,运行稳定性强。

大尺寸兼容:最大支持 φ305mm 晶圆、390×390mm 板材,兼容 6‑12 英寸晶圆,支持非标定制加工尺寸。

智能工艺功能

CCD 双镜头影像系统,自动对焦、工件形状识别,支持 CSP 切割工艺;

全套智能检测保护:NCS 非接触测高、BBD 刀破损检测、在线刀痕检测、自动修磨法兰,降低崩边、刀片损坏风险,保障加工良率。


技术参数


项目

产品型号

BJX3666晶圆划片机


加工尺寸

≤ø305mm/□390mm×390mm/定制

运动方式

双轴对向式、半自动

X轴

最大速度

600mm/s

直线度

1.5μm全行程

Y轴

有效行程

310mm

定位精度

1μm全行程

分辨率

0.1μm

 Z轴

有效行程

40mm

单步步尽量

0.0001mm

最大刀轮直径

60mm或定制

T轴

转动角度范围

380

主轴

最大转速

60000rpm/min

额定输出功率

直流(DC)1.5/1.8/2.4KW

 基础规格

电源

三相AC220V/50Hz

压缩空气

0.5-0.6Mpa、Max420L/min

切削水

0.2-0.3Mpa、Max 12L/min

排风流量

10m³/min

尺寸(mm)

1500mm(W)×1420mm(D)×1810mm(H)

重量

1500kg



适用场景

适配材料:硅片、蓝宝石、石英、氧化铝、氮化铝、陶瓷、玻璃、PCB 板、铌酸锂应用行业:IC 封装、QFN/DFN/BGA 封装、MiniLED、LED 芯片、光通讯、光电、太阳能电池、电子基片;适合研发打样、中小批量生产

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