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致力于打造高稳定、高精度、高性价比的国产精密划切设备品牌。

Mini/Micro LED COB 板边砂轮划片机BJX8260 全自动划片机

博捷芯 BJX8260 是国产高端全自动砂轮划片机,定位 ±1μm,兼容 6/8/12 英寸晶圆与 COB 基板,主打 Mini/Micro LED 板边切割,已实现头部面板厂量产落地。搭载空气静压主轴、AI 视觉对位与直线电机闭环系统,硬脆材料崩边可控至 5μm 内,支持 MES、AGV 对接,24 小时稳定量产,半导体、光通信陶瓷、铌酸锂等材料精密切割国产替代方案。

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核心优势

微米级高精度切割定位精度 ±1μm,硬脆材料加工崩边稳定控制<10μm,优化工艺可达 5μm 以内,基板翘曲 AI 自动补偿,保障 COB 板边切割良率,适配窄边框 MLED 高端制程。

高效量产,产能提升相比传统划片机切割效率提升 30% 以上,全自动上下料,可连续 24 小时不间断生产,支持带膜 / 无膜切割工艺,大幅降低人工干预,提升产线 OEE。

多材质、多尺寸兼容支持 6/8/12 英寸晶圆、COB 基板;可加工硅、蓝宝石、氧化铝陶瓷、石英、SiC/GaN、铌酸锂等各类硬脆材料,覆盖新型显示、半导体封测、光通信器件多行业。

智能视觉与自适应工艺系统AI 视觉自动识别切割道,实时监测切削状态,自适应调整切割进给与主轴参数,长时间量产一致性强;刀损在线监控,降低碎片风险。

全自动化产线集成能力原生支持 MES 数据对接、AGV 上下料,模块化结构设计,吸盘、刀盘快速更换,维护便捷,适配现代化半导体工厂智能产线布局。


技术参数


项目参数
型号BJX8260
设备类型全自动砂轮划片机
定位精度±1μm
可加工尺寸6/8/12 英寸晶圆 / 基板
主轴类型空气静压主轴(金刚石砂轮切割)
对位系统AI 视觉对位,基板翘曲补偿
切割崩边常规<10μm,优化工艺≤5μm
自动化全自动上下料,支持 MES、AGV 对接
适用材料硅、蓝宝石、陶瓷、石英、SiC、GaN、铌酸锂等硬脆材料

仅供参考,具体参数联系博捷芯



适用场景

  1. Mini/Micro LED:COB 基板板边切割、MLED 芯片分粒
  2. 半导体晶圆:硅晶圆、SiC/GaN 功率器件晶圆划切
  3. 光通信器件:铌酸锂、氧化铝陶瓷、光纤阵列基材开槽与精密切割
  4. 精密光电:蓝宝石、石英玻璃等硬脆基板分割加工


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