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UV LED 解胶机半导体晶圆 UV 解胶设备 冷光源紫外解胶机

本款 UV LED 解胶机采用 LED 灯珠光源,波长 300-380nm,紫外线强度可达 430mw/c㎡以上,输出功率 0-100% 连续可调。设备为风冷散热,属于冷光源设计,无热辐射,不会损伤晶圆基材;解胶速度快,节能无污染,即开即用,操作便捷。整机体积小巧,重量仅 30KG,适配半导体无尘车间,用于晶圆 UV 膜解胶作业,保护芯片,提升封装生产效率。

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核心优势

产品性能特点:冷光源,无热辐射、解胶速度快、节能省电无污染、即开即用、操作方便快捷

技术参数

项目规格参数
紫外线强度 (UV intensity)430mw/c㎡以上
波长 (Wave length)300-380nm
功率调节 (Power Regulation)0-100% 可调
冷却方式 (Cooling method)风冷散热
输入电压 (Input Voltage)AC220V
功率 (Power)600W
设备尺寸 (size)约 500×450×520mm
重量 (Weight)30KG
光源 (LIGHT SOURCE)LED 灯珠


适用场景

半导体晶圆封装:晶圆切割后 UV 胶膜解胶,剥离 UV 保护膜,不伤芯片本体

Mini/Micro LED 行业:LED 芯片晶圆 UV 膜脱胶、载片解胶工艺

MEMS、光学器件:光学晶片、蓝宝石基板 UV 胶解胶

半导体实验室:小批量晶圆样品 UV 解胶、研发试样脱膜

硬脆材料加工:玻璃、陶瓷片 UV 临时键合膜解胶


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