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BJX 激光裂片机半导体晶圆裂片机|硬脆材料激光裂片设备

博捷芯激光裂片机为半导体晶圆裂片专用设备,采用激光改性裂片工艺,无机械应力,崩边小;适配硅、碳化硅、蓝宝石、陶瓷等硬脆材料,广泛用于 IC、功率器件、LED 芯片、光通讯芯片裂片分离。

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核心优势

激光裂片机是面向半导体封装领域的高精度裂片设备,采用激光内部改性 + 裂片分离工艺,区别传统砂轮切割,加工无机械外力,大幅减少超薄晶圆、脆性功能芯片的崩边、微裂纹问题,提升产品良率。 搭载高精度视觉对位系统,自动识别晶圆图形,自动校准裂片轨迹;设备运行稳定,操作简便,兼容多种规格晶圆基板。可对硅、碳化硅、蓝宝石、氧化铝陶瓷、光学玻璃等各类硬脆材料进行裂片加工,适用于集成电路、功率器件、LED 芯片、MEMS 传感器、光通信芯片的晶圆分离,满足研发打样到批量生产需求。

技术参数

适用场景

半导体功率器件:碳化硅、硅基功率芯片,MOS、IGBT 晶圆裂片

LED 光电行业:LED、MiniLED 芯片,蓝宝石基板裂片

光通信行业:光芯片、光学滤光片、陶瓷基板裂片

MEMS 传感器:各类硅基传感器晶圆裂片分离

科研院所:新材料、样品工艺研发打样


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