多材料精密划切技术升级,晶圆切割机赋能半导体封装与光通信元器件制造
公司在多材料精密划切领域完成新一轮技术升级,旗下晶圆切割机平台在切割精度、稳定性与材料适配范围上实现整体提升,可更好服务半导体封装与光通信元器件制造环节的高精度加工需求。

01 技术升级核心要点
本次升级围绕划切工艺的关键环节展开,重点改进包括:
• 切割精度优化:针对超薄晶圆与复合基板的划切路径进行算法迭代,进一步减小崩边与微裂纹风险。
• 材料适配扩展:在硅、砷化镓、磷化铟等常规晶圆材料基础上,增强对陶瓷基板、玻璃基板及多种聚合物复合材料的划切适配能力。
• 运行稳定性提升:主轴与进给系统的振动控制进一步优化,长时间连续加工的一致性得到改善。
02 面向半导体封装的加工价值
在半导体封装环节,划切工序直接影响芯片成品率与后续可靠性。升级后的晶圆切割机可满足先进封装中薄芯片、多芯片堆叠结构的分割需求,帮助封装厂在保证切割质量的同时,提升单位小时产出效率。
设备支持对不同厚度晶圆进行参数化工艺管理,减少频繁换型带来的调试时间,适配多品种、小批量的封装研发与量产场景。

03 光通信元器件的精密划切支持
光通信元器件对尺寸精度和切面质量要求较高,例如光芯片、隔离器、透镜阵列等器件的划切加工,需要兼顾材料脆性与光学表面完整性。
本次升级针对光通信常用的化合物半导体与光学材料,优化了划切速度与进给匹配曲线,降低切面粗糙度波动,减少后续研磨与抛光工序的加工量,帮助器件厂商缩短工艺链条。
04 后续方向
公司将继续围绕多材料、超薄化、高精度的加工趋势,推进划切工艺与设备平台的持续迭代,为半导体封装、光通信及相关精密制造领域提供稳定可靠的加工方案。




